Кремний карбиді қайық тірегінің және кварц қайық тірегінің негізгі функциялары бірдей. Кремний карбиді қайық тірегі тамаша өнімділікке ие, бірақ бағасы жоғары. Ол қатал жұмыс жағдайлары бар аккумуляторды өңдеу жабдығында (мысалы, LPCVD жабдығы және бор диффузиялық жабдық) кварцты қайықты қолдаумен балама қатынасты құрайды. Кәдімгі жұмыс жағдайлары бар аккумуляторларды өңдеу жабдығында баға қатынастарына байланысты кремний карбиді мен кварцты қайық тірегі қатар өмір сүретін және бәсекелес санаттарға айналады.
① LPCVD және бор диффузиялық жабдықтағы алмастыру қатынасы
LPCVD жабдығы аккумуляторлық ұяшықтарды туннельдеу тотығу және легирленген полисилиций қабатын дайындау процесінде қолданылады. Жұмыс принципі:
Төмен қысымды атмосферада тиісті температурамен біріктірілген химиялық реакция және тұндыру қабықшасының түзілуі ультра жұқа туннельдік оксид қабаты мен полисилликон пленкасын дайындауға қол жеткізіледі. Туннельді тотығу және легирленген полисилиций қабатын дайындау процесінде қайық тірегі жоғары жұмыс температурасына ие және бетінде кремний пленкасы сақталады. Кварцтың термиялық кеңею коэффициенті кремнийдікінен біршама ерекшеленеді. Жоғарыда аталған процесте пайдаланған кезде, кремнийден әртүрлі термиялық кеңею коэффициентіне байланысты термиялық кеңею мен жиырылуына байланысты кварц қайық тірегі сынбауы үшін бетіне шөгіп қалған кремнийді жою үшін үнемі маринадтау қажет. Жиі тұздауға және төмен температураға төзімділікке байланысты, кварц қайық ұстағышы қысқа қызмет мерзіміне ие және туннельді тотығу және легирленген полисилиций қабатын дайындау процесінде жиі ауыстырылады, бұл батарея ұяшығының өндірістік құнын айтарлықтай арттырады. Кремний карбидінің кеңею коэффициенті кремнийдікіне жақын. Туннельді тотығу және легирленген полисилиций қабатын дайындау процесінде кіріктірілген кремний карбиді қайық ұстағышы маринадтауды қажет етпейді, жоғары температуралық беріктікке және ұзақ қызмет мерзіміне ие және кварц қайық ұстағышына жақсы балама болып табылады.
Бор кеңейту жабдығы негізінен PN түйісуін қалыптастыру үшін P типті эмитентті дайындау үшін аккумулятор ұяшығының N-типті кремний пластинкасының астарындағы бор элементтерін қоспалау процесі үшін қолданылады. Жұмыс принципі жоғары температуралы атмосферада химиялық реакция мен молекулалық тұндыру пленкасының түзілуін жүзеге асыру болып табылады. Пленка пайда болғаннан кейін кремний пластинкасының бетінің қоспалау функциясын жүзеге асыру үшін оны жоғары температурада қыздыру арқылы таратуға болады. Бор кеңейту жабдығының жұмыс температурасының жоғары болуына байланысты кварц қайық ұстағышының жоғары температуралық беріктігі төмен және борды кеңейту жабдығында қысқа қызмет ету мерзімі бар. Кіріктірілген кремний карбиді қайық ұстағышы жоғары температураға төзімділікке ие және борды кеңейту процесінде кварц қайық ұстағышына жақсы балама болып табылады.
② Басқа технологиялық жабдықтағы ауыстыру қатынасы
SiC қайық тіректерінің тығыз өндірістік қуаты және тамаша өнімділігі бар. Олардың бағасы әдетте кварцты қайық тіректерінен жоғары. Ұяшықтарды өңдеу жабдығының жалпы жұмыс жағдайында SiC қайық тіректері мен кварцты қайық тіректері арасындағы қызмет ету мерзімінің айырмашылығы шамалы. Төменгі тұтынушылар негізінен өз процестері мен қажеттіліктеріне негізделген баға мен өнімділікті салыстырады және таңдайды. SiC қайық тіректері мен кварц қайық тіректері қатар өмір сүретін және бәсекеге қабілетті болды. Дегенмен, SiC қайық тіректерінің жалпы пайда маржасы қазіргі уақытта салыстырмалы түрде жоғары. SiC қайық тіректерін өндіру құнының төмендеуімен, егер SiC қайық тіректерінің сату бағасы белсенді түрде төмендесе, бұл кварц қайық тіректерінің бәсекеге қабілеттілігін де арттырады.
(2) Пайдалану коэффициенті
Ұяшық технологиясының бағыты негізінен PERC технологиясы және TOPCon технологиясы. PERC технологиясының нарықтағы үлесі 88%, TOPCon технологиясының нарықтағы үлесі 8,3% құрайды. Екеуінің жиынтық нарықтағы үлесі 96,30% құрайды.
Төмендегі суретте көрсетілгендей:
PERC технологиясында алдыңғы фосфордың диффузиясы және күйдіру процестері үшін қайық тіректері қажет. TOPCon технологиясында бордың алдыңғы диффузиясы, LPCVD, фосфордың артқы диффузиясы және күйдіру процестері үшін қайық тіректері қажет. Қазіргі уақытта кремний карбиді қайық тіректері негізінен TOPCon технологиясының LPCVD процесінде қолданылады және олардың бор диффузиясы процесінде қолданылуы негізінен тексерілді.
Сурет ұяшықтарды өңдеу процесінде қайық тіректерін қолдану:
Ескертпе: PERC және TOPCon технологияларының алдыңғы және артқы жағымен қапталғаннан кейін экранды басып шығару, агломерациялау және сынау және сұрыптау сияқты қадамдар бар, олар қайық тіректерін пайдалануды қамтымайды және жоғарыдағы суретте көрсетілмеген.
(3) Болашақ даму тенденциясы
Болашақта кремний карбидті қайық тіректерінің жан-жақты өнімділік артықшылықтарының әсерінен тұтынушылардың үздіксіз кеңеюі және фотоэлектрлік өнеркәсіптің құнын төмендету және тиімділігін арттыру, кремний карбидті қайық тіректерінің нарықтағы үлесі одан әрі артады деп күтілуде.
① LPCVD және бор диффузиялық жабдықтың жұмыс ортасында кремний карбиді қайық тіректерінің жан-жақты өнімділігі кварцқа қарағанда жақсырақ және ұзақ қызмет мерзіміне ие.
② Компания ұсынған кремний карбидті қайықтарды қолдау өндірушілерінің тұтынушы кеңеюі тегіс. Солтүстік Хуачуан, Сонгю Технология және Qihao New Energy сияқты саладағы көптеген тұтынушылар кремний карбидті қайық тіректерін пайдалана бастады.
③ Шығындарды азайту және тиімділікті арттыру әрқашан фотоэлектрлік өнеркәсіптің ұмтылысы болды. Үлкен көлемді батарея ұяшықтары арқылы шығындарды үнемдеу фотоэлектрлік өнеркәсіптегі шығындарды азайту және тиімділікті арттыру көріністерінің бірі болып табылады. Үлкен батарея ұяшықтарының трендімен кремний карбидті қайық тіректерінің жақсы жан-жақты өнімділігіне байланысты артықшылықтары айқынырақ болады.
Жіберу уақыты: 04 қараша 2024 ж