Изостатикалық PECVD графит қайығы

Изостатикалық PECVD графит қайықтарының таңдаулы кескіні

Қысқаша сипаттама:

Изостатикалық PECVD графит қайығы жартылай өткізгіш өндірісінің әртүрлі буындарында кеңінен қолданылады, мысалы, полисилиций қабықшасы, оксидті қабықша тұндыру, нитридті пленка тұндыру және т.б. Оның тамаша өнімділігі оны PECVD процесінде идеалды вафельді тасымалдаушы етеді.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

SEMICERA изостатикалық PECVD графит қайығы - PECVD (плазмада жақсартылған химиялық будың тұндыру) процесінде вафельді қолдауға арналған жоғары таза, жоғары тығыздықтағы графит өнімі. SEMICERA компаниясы графитті қайықтың тамаша жоғары температураға, коррозияға төзімділігіне, өлшемдік тұрақтылыққа және жақсы жылу өткізгіштікке ие болуын қамтамасыз ету үшін озық изостатикалық престеу технологиясын пайдаланады, бұл жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде таптырмайтын шығын материалы болып табылады.

SEMICERA изостатикалық PECVD графит қайығы келесі артықшылықтарға ие:

▪ Жоғары тазалық: Вафли бетін ластамау үшін графит материалының тазалығы жоғары және қоспасы аз.

▪ Жоғары тығыздық: Жоғары тығыздық, жоғары механикалық беріктік, жоғары температура мен жоғары вакуумдық ортаға төтеп бере алады.

▪ Жақсы өлшемдік тұрақтылық: процесс тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін жоғары температурада шағын өлшемді өзгерту.

▪ Өте жақсы жылу өткізгіштік: пластинаның қызып кетуіне жол бермеу үшін жылуды тиімді тасымалдаңыз.

▪ Күшті коррозияға төзімділік: әртүрлі коррозиялық газдар мен плазма эрозиясына қарсы тұруға қабілетті.

Өнімділік параметрі	жартылай керамика	SGL R6510	Өнімділік параметрі
Көлемдік тығыздық (г/см3)	1.91	1.83	1,85
Иілу күші (МПа)	63	60	49
Қысу күші (МПа)	135	130	103
Жағаның қаттылығы (HS)	70	64	60
Термиялық кеңею коэффициенті（10-6/К）	85	105	130
Термиялық кеңею коэффициенті（10-6/К）	5.85	4.2	5.0
Меншікті кедергі (μΩм)	11-13	13	10

Бізді таңдаудың артықшылықтары:
▪ Материалды таңдау: Өнім сапасын қамтамасыз ету үшін жоғары таза графиттік материалдар пайдаланылады.
▪ Өңдеу технологиясы: өнімнің тығыздығы мен біркелкілігін қамтамасыз ету үшін изостатикалық престеу қолданылады.
▪ Өлшемді теңшеу: әртүрлі өлшемдер мен пішіндегі графит қайықтарын тұтынушы қажеттіліктеріне сәйкес реттеуге болады.
▪ Беттік өңдеу: әртүрлі технологиялық талаптарды қанағаттандыру үшін кремний карбиді, бор нитриді және т.б. жабын сияқты бетті өңдеудің әртүрлі әдістері қарастырылған.