Semicera әртүрлі компоненттер мен тасымалдаушылар үшін арнайы тантал карбиді (TaC) жабындарын ұсынады.Semicera жетекші жабын процесі тантал карбиді (TaC) жабындарына жоғары тазалыққа, жоғары температура тұрақтылығына және жоғары химиялық төзімділікке қол жеткізуге, SIC/GAN кристалдары мен EPI қабаттарының өнім сапасын жақсартуға мүмкіндік береді (Графитпен қапталған TaC сенсоры) және реактордың негізгі компоненттерінің қызмет ету мерзімін ұзарту. Тантал карбидінің TaC жабынын пайдалану жиек мәселесін шешу және кристалдардың өсу сапасын жақсарту болып табылады, ал Semicera халықаралық озық деңгейге жетіп, тантал карбиді жабу технологиясын (CVD) шешті.
Таза көміртегімен қапталған жоғары таза тантал сақиналары аэроғарыштық, химиялық, жартылай өткізгіштер өндірісі және басқа салалардағы арнайы жабдықтар мен жүйелерде кеңінен қолданылады. Олар әдетте сенімді өнімділік пен ұзақ қызмет мерзімін қамтамасыз ететін, жабдықтың тұрақты жұмысын және өнім сапасын қамтамасыз ететін жоғары температура мен коррозиялық ортада тығыздау және беру үшін қолданылады.
Таза көміртегімен қапталған жоғары таза тантал сақиналарының сипаттамалары келесідей:
1. Жоғары температура тұрақтылығы: Таза көміртегімен қапталған жоғары таза тантал сақиналары жоғары температуралық ортада құрылымдық тұрақтылықты сақтай алады және жоғары температура жағдайларына төтеп беруді қажет ететін қолданбаларға жарамды тамаша жоғары температураға төзімділікке ие болады.
2. Коррозияға төзімділік: Тантал материалының өзі коррозияға төзімділігі жақсы, ал бетінде пайда болған тантал карбиді жабыны оның коррозияға төзімділігін одан әрі арттырады және әртүрлі химиялық заттар мен еріткіштердің эрозиясына қарсы тұра алады.
3. Тозуға төзімділік: Тантал карбиді жабыны жоғары қаттылық пен тозуға төзімділікке ие, үйкеліс пен тозу орталарында жақсы өнімділікті сақтай алады және қызмет мерзімін ұзартады.
4. Тамаша тығыздау өнімділігі: Жоғары тазалықтағы тантал көміртекті жабыны бар сақиналар жақсы тығыздау өнімділігіне ие, газдың немесе сұйықтықтың ағып кетуін тиімді болдырмайды және тығыздау талаптары жоғары қолдану сценарийлері үшін жарамды.
TaC бар және онсыз
TaC пайдаланғаннан кейін (оң жақта)
Оның үстіне, Semicera'sTaC жабыны бар өнімдерсалыстырғанда ұзағырақ қызмет ету мерзімін және жоғары температураға төзімділігін көрсетедіSiC жабындары.Зертханалық өлшеулер көрсеткендей, біздіңTaC жабындарыұзақ уақыт бойы 2300 градус Цельсийге дейінгі температурада тұрақты жұмыс істей алады. Төменде біздің үлгілеріміздің кейбір мысалдары берілген:
