Қатты CVD КРЕМНИЙ КАРБИД бөліктері RTP/EPI сақиналары мен негіздері және жүйені талап ететін жоғары жұмыс температураларында (>1500℃) жұмыс істейтін плазмалық этч қуысы бөліктері үшін негізгі таңдау ретінде танылады, тазалыққа қойылатын талаптар әсіресе жоғары (>99,9995%) және өнімділік әсіресе химиялық заттарға төзімділік ерекше жоғары болғанда жақсы. Бұл материалдар дәннің жиегінде қосалқы фазаларды қамтымайды, сондықтан олардың құрамдас бөліктері басқа материалдарға қарағанда бөлшектерді аз шығарады. Бұған қоса, бұл құрамдастарды аз деградациямен ыстық HF/HCl пайдалану арқылы тазалауға болады, нәтижесінде бөлшектер азаяды және қызмет ету мерзімі ұзарады.
