SiC вафельді қайық
Кремний карбидінен жасалған вафельді қайықнегізінен күн және жартылай өткізгіш диффузиялық процестерде қолданылатын пластинкаларға арналған жүк көтергіш құрылғы болып табылады. Оның тозуға төзімділігі, коррозияға төзімділігі, жоғары температуралық соққыға төзімділігі, плазмалық бомбалауға төзімділігі, жоғары температураны көтеру қабілеті, жоғары жылу өткізгіштігі, жоғары жылуды таратуы және майысу және деформациялануы оңай емес ұзақ мерзімді пайдалану сияқты сипаттамалар бар. Біздің компания қызмет ету мерзімін қамтамасыз ету үшін жоғары таза кремний карбиді материалын пайдаланады және теңшелген дизайнды ұсынады, соның ішінде. әртүрлі тік және көлденеңвафельді қайық.
SiC қалақшасы
Theкремний карбиді консольдық қалақнегізінен кремний пластинкаларын жоғары температурада тиеу мен тасымалдауда шешуші рөл атқаратын кремний пластинкаларын (диффузия) жабуда қолданылады. Ол негізгі құрамдас бөлігі болып табыладыжартылай өткізгіш пластиналаржүктеу жүйелері және келесі негізгі сипаттамаларға ие:
1. Ол жоғары температуралы ортада деформацияланбайды және пластинаға жоғары жүктеме күші бар;
2. Қатты суыққа және жылдам ыстыққа төзімді, қызмет ету мерзімі ұзақ;
3. Термиялық кеңею коэффициенті аз, техникалық қызмет көрсету және тазалау циклін едәуір ұзартады және ластаушы заттарды айтарлықтай азайтады.
SiC пеш түтігі
Кремний карбидінің технологиялық түтігі, металл қоспалары жоқ жоғары таза SiC-тен жасалған, пластинаны ластамайды және жартылай өткізгіш және фотоэлектрлік диффузия, күйдіру және тотығу процестері сияқты процестерге жарамды.
SiC робот қолы
SiC робот қолы, сондай-ақ пластинаның соңғы эффекторы ретінде белгілі, жартылай өткізгіш пластиналарды тасымалдау үшін пайдаланылатын роботтық қол және жартылай өткізгіш, оптоэлектрондық және күн энергиясы салаларында кеңінен қолданылады. Жоғары қаттылық, тозуға төзімділік, сейсмикалық төзімділік, деформациясыз ұзақ мерзімді пайдалану, ұзақ қызмет ету мерзімі және т.б. бар жоғары таза кремний карбиді пайдалану теңшелген қызметтерді ұсына алады.
Кристалдың өсуіне арналған графит
Графит жылу қалқаны
Графит электродты түтік
Графитті дефлектор
Графит патрон
Жартылай өткізгіш кристалдарды өсіру үшін қолданылатын барлық процестер жоғары температурада және коррозиялық ортада жұмыс істейді. Кристаллды өсіретін пештің ыстық аймағы әдетте ыстыққа төзімді және коррозияға төзімді жоғары тазалықпен өңделеді. графитті қыздырғыштар, тигельдер, цилиндрлер, дефлекторлар, патрондар, түтіктер, сақиналар, ұстағыштар, гайкалар және т.б. сияқты графит құрамдас бөліктері Біздің дайын өнімде күл мөлшері 5 ppm-ден аз болуы мүмкін.
Жартылай өткізгіш эпитаксияға арналған графит
Графит негізі
Графит эпитаксиалды бөшке
Монокри сталиндік кремний эпитаксиалды негіз
MOCVD графит бөліктері
Жартылай өткізгішті графит арматурасы
Эпитаксиалды процесс деп бір кристалды материалдың субстрат сияқты тор орналасуы бар бір кристалды субстратта өсуін айтады. Ол көптеген ультра жоғары тазалықтағы графит бөлшектерін және SIC жабыны бар графит негізін қажет етеді. Жартылай өткізгіш эпитаксия үшін қолданылатын жоғары тазалықтағы графит кең ауқымды қолданбаларға ие, ол өнеркәсіпте жиі қолданылатын жабдыққа сәйкес келеді, сонымен бірге ол өте жоғары. тазалық, біркелкі жабын, тамаша қызмет ету мерзімі және өте жоғары химиялық төзімділік пен термиялық тұрақтылық.
Оқшаулағыш материал және т.б
Жартылай өткізгіштер өндірісінде қолданылатын жылу оқшаулағыш материалдарға графит қатты киіз, жұмсақ киіз, графит фольга, көміртекті композициялық материалдар және т.б. жатады. Біздің шикізат импорттық графит материалдары болып табылады, оларды тапсырыс берушілердің ерекшеліктеріне сәйкес кесуге болады, сонымен қатар сатуға болады. тұтас. Көміртекті композициялық материал, әдетте, күн монокристалы мен полисилиций жасушаларын өндіру процесінде тасымалдаушы ретінде пайдаланылады.