Тазалығы жоғары SiC тасымалдаушы/суцептор

Қысқаша сипаттама:

Кремний карбидті мойынтірек дискісі сонымен қатар SIC науасы, кремний карбидті өңдеу дискі, ICP өңдеу дискі ретінде белгілі. Жарықдиодты оюға арналған кремний карбиді науасы (SiC науа) φ600мм терең кремний оюға арналған арнайы керек-жарақ (ICP ою машинасы).


Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Сипаттама

Кремний карбидті керамика бөлме температурасында тамаша механикалық қасиеттерге ие, мысалы, жоғары беріктік, жоғары қаттылық, жоғары серпімділік модулі және т. өңдеу өнімділігі.
Олар литографиялық машиналар сияқты интегралды схемалық жабдықтарға арналған дәл керамикалық бөлшектерді өндіру үшін әсіресе қолайлы, олар негізінен SiC тасымалдаушы/қабылдағыш, SiC пластинкалы қайық, сорғыш диск, суды салқындату тақтасы, дәл өлшеу рефлекторы, тор және басқа керамикалық құрылымдық бөлшектерді жасау үшін қолданылады.

тасымалдаушы2

тасымалдаушы3

тасымалдаушы4

Артықшылықтары

Жоғары температураға төзімділік: 1800 ℃ қалыпты пайдалану
Жоғары жылу өткізгіштік: графит материалына баламалы
Жоғары қаттылық: қаттылық алмаздан, бор нитридінен кейін екінші орында
Коррозияға төзімділік: күшті қышқыл мен сілті оған коррозияға ұшырамайды, коррозияға төзімділігі вольфрам карбиді мен алюминий тотығына қарағанда жақсы.
Жеңіл салмақ: тығыздығы төмен, алюминийге жақын
Деформация жоқ: жылу кеңеюінің төмен коэффициенті
Термиялық соққыға төзімділік: ол температураның күрт өзгеруіне төтеп бере алады, термиялық соққыға төтеп бере алады және тұрақты өнімділікке ие.
Кремний карбиді тасымалдаушы, мысалы, sic сызу тасығышы, ICP сызу сенсоры, жартылай өткізгіш CVD, вакуумды шашырату және т.б. кеңінен қолданылады. Біз тұтынушыларға әртүрлі қолданбаларды қанағаттандыру үшін кремний және кремний карбиді материалдарының теңшелген вафли тасымалдаушыларын ұсына аламыз.

Артықшылықтары

Меншік Мән Әдіс
Тығыздығы 3,21 г/куб Раковина және өлшем
Меншікті жылу 0,66 Дж/г °К Импульстік лазерлік жарқыл
Иілу күші 450 МПа 560 МПа 4 нүктелі иілу, RT4 нүктелі иілу, 1300°
Сыну беріктігі 2,94 МПа м1/2 Микро шегініс
Қаттылық 2800 Викер, салмағы 500 г
Эластикалық модуль Янг модулі 450 GPa430 GPa 4 pt иілісі, RT4 pt иілісі, 1300 °C
Астық мөлшері 2 – 10 мкм SEM

Компания профилі

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. - жетілдірілген жартылай өткізгіш керамиканың жетекші жеткізушісі және бір уақытта жоғары таза кремний карбиді керамикасын (әсіресе қайта кристалданған SiC) және CVD SiC жабынын қамтамасыз ете алатын Қытайдағы жалғыз өндіруші. Сонымен қатар, біздің компания алюминий тотығы, алюминий нитриді, цирконий және кремний нитриді және т.б. сияқты керамикалық өрістерге де ұмтылады.

Біздің негізгі өнімдеріміз, соның ішінде: кремний карбидті тегістеу дискі, кремний карбиді қайық сүйреткіші, кремний карбидті пластинка (фотоэлектрлік және жартылай өткізгіш), кремний карбидті пеш түтігі, кремний карбиді консоль қалақшасы, кремний карбиді патрондары, кремний карбиді пучкасы, сондай-ақ SiC және CV жабын. Негізінен жартылай өткізгіш және фотоэлектрлік өнеркәсіпте қолданылатын өнімдер, мысалы, кристалды өсіруге арналған жабдықтар, эпитаксис, өрнектеу, орау, қаптау және диффузиялық пештер және т.б.
шамамен (2)

Көлік

шамамен (2)


  • Алдыңғы:
  • Келесі: