Тантал карбидімен қапталған графит қақпағы

Қысқаша сипаттама:

Тантал карбиді жабыны - субстрат бетінде қатты, тозуға төзімді және коррозияға төзімді қорғаныс қабатын қалыптастыру үшін тантал карбиді материалын қолданатын алдыңғы қатарлы бетті жабу технологиясы. Бұл жабын үйкеліс пен тозуды азайта отырып, материалдың қаттылығын, жоғары температураға төзімділігін және химиялық төзімділігін айтарлықтай арттыратын тамаша қасиеттерге ие. Тантал карбиді жабындары әртүрлі салаларда, соның ішінде өнеркәсіптік өндірісте, аэроғарыш, автомобиль жасауда және медициналық жабдықтарда материалдың қызмет ету мерзімін ұзарту, өндіріс тиімділігін арттыру және техникалық қызмет көрсету шығындарын азайту үшін кеңінен қолданылады. Металл беттерін коррозиядан қорғау немесе механикалық бөлшектердің тозуға және тотығуға төзімділігін арттыруға қарамастан, тантал карбиді жабындары әртүрлі қолданбалар үшін сенімді шешім береді.

 


Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Semicera әртүрлі компоненттер мен тасымалдаушылар үшін арнайы тантал карбиді (TaC) жабындарын ұсынады.Semicera жетекші жабын процесі тантал карбиді (TaC) жабындарына жоғары тазалыққа, жоғары температура тұрақтылығына және жоғары химиялық төзімділікке қол жеткізуге, SIC/GAN кристалдары мен EPI қабаттарының өнім сапасын жақсартуға мүмкіндік береді (Графитпен қапталған TaC сенсоры) және реактордың негізгі компоненттерінің қызмет ету мерзімін ұзарту. Тантал карбидінің TaC жабынын пайдалану жиек мәселесін шешу және кристалдардың өсу сапасын жақсарту болып табылады, ал Semicera Semicera халықаралық озық деңгейге жетіп, тантал карбиді жабу технологиясын (CVD) шешті.

 

Жылдар бойы дамығаннан кейін Semicera технологиясын жеңдіCVD TaCҒЗТКЖ бөлімінің бірлескен күшімен. SiC пластинкаларының өсу процесінде ақаулар оңай пайда болады, бірақ қолданғаннан кейінTaC, айырмашылық айтарлықтай. Төменде TaC бар және онсыз пластиналарды, сондай-ақ монокристалды өсіруге арналған Simicera бөліктерін салыстыру берілген.

微信图片_20240227150045

TaC бар және онсыз

微信图片_20240227150053

TaC пайдаланғаннан кейін (оң жақта)

Сонымен қатар, Semicera компаниясының TaC қаптамасының өнімдерінің қызмет ету мерзімі SiC жабынына қарағанда ұзағырақ және жоғары температураға төзімді. Ұзақ уақыт бойы зертханалық өлшеу деректерінен кейін біздің TaC максималды 2300 градус Цельсийде ұзақ уақыт жұмыс істей алады. Төменде біздің кейбір үлгілеріміз берілген:

微信截图_20240227145010

(a) PVT әдісі бойынша SiC монокристалды құйма өсіретін құрылғының схемалық диаграммасы (b) Жоғарғы TaC қапталған тұқым кронштейні (SiC тұқымын қоса) (c) TAC қапталған графит бағыттаушы сақина

ZDFVzCFV
Негізгі ерекшелігі
Жартылай жұмыс орны
Жартылай жұмыс орны 2
Жабдық машинасы
CNN өңдеу, химиялық тазалау, CVD жабыны
Біздің қызмет

  • Алдыңғы:
  • Келесі: