Жаппай CVD SiC сақинасы

Қысқаша сипаттама:

Көлемді CVD SiC сақиналары шикізат ретінде кремний көзінің газын (мысалы, кремний гидриді) және көміртегі көзінің газын (мысалы, метан) пайдаланады, үлкен өлшемді SiC материалдарын субстратқа немесе қалыпқа қою үшін жоғары температурада әрекеттеседі. Бұл процесс SiC күшті және дәйекті сақина құрылымын құра отырып, үлкен аумақта біркелкі тұндыруға мүмкіндік береді.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Неліктен кремний карбидті офорт сақинасы?

RTPCVD SiC сақиналарыжоғары температурада және коррозиялық ортада өнеркәсіптік және ғылыми салаларда кеңінен қолданылады. Ол жартылай өткізгіштер өндірісінде, оптоэлектроникада, дәл машина жасауда және химия өнеркәсібінде маңызды рөл атқарады. Арнайы қолданбаларға мыналар жатады:

1. Жартылай өткізгіштерді өндіру:RTP CVD SiC сақиналарытемператураны тұрақты бақылауды қамтамасыз ететін және процестің дәлдігі мен дәйектілігін қамтамасыз ететін жартылай өткізгіш жабдықты жылыту және салқындату үшін пайдалануға болады.

2. Оптоэлектроника: тамаша жылу өткізгіштігі мен жоғары температураға төзімділігі арқасында RTPCVD SiC сақиналарылазерлер, талшықты-оптикалық байланыс жабдықтары және оптикалық компоненттер үшін тірек және жылуды диссипациялау материалдары ретінде пайдаланылуы мүмкін.

3. Дәл машиналар: RTP CVD SiC сақиналарын жоғары температуралы пештер, вакуумдық құрылғылар және химиялық реакторлар сияқты жоғары температурада және коррозиялық орталарда дәл аспаптар мен жабдықтар үшін пайдалануға болады.

4. Химия өнеркәсібі: коррозияға төзімділігі мен химиялық тұрақтылығына байланысты RTP CVD SiC сақиналарын химиялық реакциялар мен каталитикалық процестерде контейнерлерде, құбырларда және реакторларда қолдануға болады.

Эпи жүйесі

RTP жүйесі

CVD жүйесі

Өнім өнімділігі:

1. 28 нм төмен процесті қарсы алыңыз

2. Супер коррозияға төзімділік

3. Өте таза өнімділік

4. Өте қаттылық

5. Жоғары тығыздық

6. Жоғары температураға төзімділік

7. Тозуға төзімділік

Өнімді қолдану:

Кремний карбидті материалдар жоғары қаттылық, тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік және жоғары температура тұрақтылық сипаттамаларына ие. Өте жақсы жан-жақты өнімділігі бар өнімдер құрғақ оюлау және TF/Diffusion процестерінде кеңінен қолданылады.