Semicera компаниясының 8 дюймдік N-типті SiC пластиналары жартылай өткізгіш инновациялардың алдыңғы қатарында болып, өнімділігі жоғары электрондық құрылғыларды әзірлеу үшін берік негіз береді. Бұл пластиналар қуатты электроникадан жоғары жиілікті тізбектерге дейінгі заманауи электронды қолданбалардың қатаң талаптарын қанағаттандыруға арналған.
Осы SiC пластиналарындағы N-типті қоспасы олардың электр өткізгіштігін арттырады, бұл оларды қуатты диодтарды, транзисторларды және күшейткіштерді қоса алғанда, кең ауқымды қолданбалар үшін өте қолайлы етеді. Жоғары өткізгіштік энергияның минималды жоғалуын және жоғары жиіліктерде және қуат деңгейлерінде жұмыс істейтін құрылғылар үшін маңызды болып табылатын тиімді жұмысты қамтамасыз етеді.
Semicera компаниясы бетінің ерекше біркелкілігі және ең аз ақаулары бар SiC пластинкаларын шығару үшін озық өндіріс әдістерін қолданады. Дәлдіктің бұл деңгейі аэроғарыш, автомобиль және телекоммуникация салаларындағы тұрақты өнімділік пен ұзақ мерзімділікті қажет ететін қолданбалар үшін өте маңызды.
Semicera компаниясының 8 дюймдік N-типті SiC вафлилерін өндірістік желіге қосу қатал орта мен жоғары температураға төтеп бере алатын құрамдастарды жасауға негіз береді. Бұл пластиналар қуатты түрлендіру, RF технологиясы және басқа да талап етілетін салалардағы қолданбалар үшін өте қолайлы.
Semicera компаниясының 8 дюймдік N-типті SiC вафлилерін таңдау жоғары сапалы материалтануды нақты инженериямен біріктіретін өнімге инвестициялауды білдіреді. Semicera электрондық құрылғыларыңыздың тиімділігі мен сенімділігін арттыратын шешімдерді ұсына отырып, жартылай өткізгіш технологиялардың мүмкіндіктерін дамытуға ұмтылады.
| Элементтер | Өндіріс | Зерттеу | Манеке |
| Кристалл параметрлері | |||
| Политип | 4H | ||
| Беттік бағдар қатесі | <11-20 >4±0,15° | ||
| Электрлік параметрлер | |||
| Допант | n-типті азот | ||
| Қарсылық | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механикалық параметрлер | |||
| Диаметрі | 150,0±0,2мм | ||
| Қалыңдығы | 350±25 мкм | ||
| Бастапқы жазық бағдарлау | [1-100]±5° | ||
| Негізгі жалпақ ұзындық | 47,5±1,5мм | ||
| Екінші пәтер | Жоқ | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
| Садақ | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Бұрыш | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Алдыңғы (Si-бет) кедір-бұдырлығы (AFM) | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Құрылымы | |||
| Микроқұбырдың тығыздығы | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металл қоспалары | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 е/см2 | ≤3000 е/см2 | NA |
| TSD | ≤500 е/см2 | ≤1000 е/см2 | NA |
| Алдыңғы сапа | |||
| Алдыңғы | Si | ||
| Беткі әрлеу | Si-face CMP | ||
| Бөлшектер | ≤60ea/вафли (өлшемі≥0,3мкм) | NA | |
| сызаттар | ≤5е/мм. Жиынтық ұзындық ≤Диаметр | Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA |
| Апельсин қабығы / шұңқырлар / дақтар / жолақтар / жарықтар / ластану | Жоқ | NA | |
| Шеткі чиптер/шегістер/сынулар/алты қырлы тақталар | Жоқ | ||
| Политипті аймақтар | Жоқ | Жиынтық ауданы≤20% | Жиынтық ауданы≤30% |
| Алдыңғы лазерлік таңбалау | Жоқ | ||
| Артқы сапа | |||
| Артқы мәре | C-бет CMP | ||
| сызаттар | ≤5ea/мм,Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA | |
| Артқы ақаулар (жиек чиптері/шегіністері) | Жоқ | ||
| Артқы кедір-бұдыр | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Артқы лазерлік таңбалау | 1 мм (жоғарғы шетінен) | ||
| Жиек | |||
| Жиек | Фака | ||
| Қаптама | |||
| Қаптама | Вакуумды орауышпен эпи-дайын Көп вафлилі кассеталық қаптама | ||
| *Ескертпелер: «NA» сұрау жоқ дегенді білдіреді Атылмаған элементтер SEMI-STD-ге сілтеме жасай алады. | |||
