Semicera компаниясының 4”6” жоғары таза жартылай оқшаулағыш SiC құймалары жартылай өткізгіштер өнеркәсібінің қатаң стандарттарына жауап беруге арналған. Бұл құймалар тазалық пен консистенцияға назар аудара отырып шығарылады, бұл оларды өнімділік маңызды болып табылатын жоғары қуатты және жоғары жиілікті қолданбалар үшін тамаша таңдау жасайды.
Бұл SiC құймаларының бірегей қасиеттері, соның ішінде жоғары жылу өткізгіштік пен тамаша электр кедергісі, оларды электр электроникасы мен микротолқынды құрылғыларда пайдалану үшін әсіресе қолайлы етеді. Олардың жартылай оқшаулағыш табиғаты тиімді жылуды таратуға және минималды электрлік кедергілерге мүмкіндік береді, бұл тиімдірек және сенімді компоненттерге әкеледі.
Semicera ерекше кристалдық сапасы мен біркелкі құймаларды өндіру үшін ең заманауи өндіріс процестерін қолданады. Бұл дәлдік әрбір құйманың жоғары жиілікті күшейткіштер, лазерлік диодтар және басқа оптоэлектрондық құрылғылар сияқты сезімтал қолданбаларда сенімді қолданылуын қамтамасыз етеді.
4 дюймдік және 6 дюймдік өлшемдерде қол жетімді, Semicera компаниясының SiC құймалары әртүрлі өндіріс ауқымдары мен технологиялық талаптарға қажетті икемділікті қамтамасыз етеді. Зерттеулер мен әзірлемелер немесе жаппай өндіріс үшін болсын, бұл құймалар заманауи электрондық жүйелер талап ететін өнімділік пен ұзақ мерзімділікті қамтамасыз етеді.
Semicera компаниясының жоғары таза жартылай оқшаулағыш SiC құймаларын таңдау арқылы сіз озық материалтану мен теңдесі жоқ өндірістік тәжірибені біріктіретін өнімге инвестиция жасайсыз. Semicera жартылай өткізгіштер өнеркәсібінің инновациялары мен өсуін қолдауға арналған, алдыңғы қатарлы электронды құрылғыларды жасауға мүмкіндік беретін материалдарды ұсынады.
Элементтер | Өндіріс | Зерттеу | Манеке |
Кристалл параметрлері | |||
Политип | 4H | ||
Беттік бағдар қатесі | <11-20 >4±0,15° | ||
Электрлік параметрлер | |||
Допант | n-типті азот | ||
Қарсылық | 0,015-0,025 Ом·см | ||
Механикалық параметрлер | |||
Диаметрі | 150,0±0,2мм | ||
Қалыңдығы | 350±25 мкм | ||
Бастапқы жазық бағдарлау | [1-100]±5° | ||
Негізгі жалпақ ұзындық | 47,5±1,5мм | ||
Екінші пәтер | Жоқ | ||
TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
Садақ | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Бұрыш | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
Алдыңғы (Si-бет) кедір-бұдырлығы (AFM) | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
Құрылымы | |||
Микроқұбырдың тығыздығы | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
Металл қоспалары | ≤5E10атом/см2 | NA | |
BPD | ≤1500 е/см2 | ≤3000 е/см2 | NA |
TSD | ≤500 е/см2 | ≤1000 е/см2 | NA |
Алдыңғы сапа | |||
Алдыңғы | Si | ||
Беткі әрлеу | Si-face CMP | ||
Бөлшектер | ≤60ea/вафли (өлшемі≥0,3мкм) | NA | |
сызаттар | ≤5е/мм. Жиынтық ұзындық ≤Диаметр | Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA |
Апельсин қабығы / шұңқырлар / дақтар / жолақтар / жарықтар / ластану | Жоқ | NA | |
Шеткі чиптер/шегістер/сынулар/алты қырлы тақталар | Жоқ | ||
Политипті аймақтар | Жоқ | Жиынтық ауданы≤20% | Жиынтық ауданы≤30% |
Алдыңғы лазерлік таңбалау | Жоқ | ||
Артқы сапа | |||
Артқы мәре | C-бет CMP | ||
сызаттар | ≤5ea/мм,Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA | |
Артқы ақаулар (жиек чиптері/шегіністері) | Жоқ | ||
Артқы кедір-бұдыр | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
Артқы лазерлік таңбалау | 1 мм (жоғарғы шетінен) | ||
Жиек | |||
Жиек | Фака | ||
Қаптама | |||
Қаптама | Вакуумды орауышпен эпи-дайын Көп вафлилі кассеталық қаптама | ||
*Ескертпелер: «NA» сұрау жоқ дегенді білдіреді Атылмаған элементтер SEMI-STD-ге сілтеме жасай алады. |