41 дана 4 дюймдік графит негізі MOCVD жабдықтарының бөліктері

Қысқаша сипаттама:

Өнімді енгізу және пайдалану: 41 дана 4 сағаттық субстрат орналастырылған, көк-жасыл эпитаксиалды пленкамен жарықдиодты өсіру үшін қолданылады

Өнімнің құрылғының орналасуы: реакциялық камерада, вафлимен тікелей байланыста

Негізгі төмен ағын өнімдері: LED чиптері

Негізгі соңғы нарық: жарықдиодты


Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Сипаттама

Біздің компания қамтамасыз етедіSiC жабыныграфит, керамика және басқа материалдардың бетінде CVD әдісімен өңдеу қызметтері, осылайша құрамында көміртегі мен кремний бар арнайы газдар жоғары температурада әрекеттесіп, жоғары таза SiC молекулаларын, қапталған материалдардың бетінде тұндырылған молекулаларды құрайды.SiC қорғаныс қабаты.

41 дана 4 дюймдік графит негізі MOCVD жабдықтарының бөліктері

Негізгі мүмкіндіктер

1. Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі:
температура 1600 ℃ дейін жоғары болған кезде тотығуға төзімділік әлі де өте жақсы.
2. Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
3. Эрозияға төзімділік: жоғары қаттылық, ықшам беті, ұсақ бөлшектер.
4. Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.

 

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары

SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы FCC β фазасы
Тығыздығы г/см³ 3.21
Қаттылық Викерс қаттылығы 2500
Астық мөлшері мкм 2~10
Химиялық тазалық % 99.99995
Жылу сыйымдылығы Дж·кг-1 ·К-1 640
Сублимация температурасы 2700
Фелексальды күш МПа (RT 4-нүкте) 415
Жас модулі Gpa (4pt иілу, 1300℃) 430
Термиялық кеңею (CTE) 10-6К-1 4.5
Жылу өткізгіштік (Вт/мК) 300
Жартылай жұмыс орны
Жартылай жұмыс орны 2
Жабдық машинасы
CNN өңдеу, химиялық тазалау, CVD жабыны
Жартылай қойма
Біздің қызмет

  • Алдыңғы:
  • Келесі: