Жартылай10x10 мм полярлы емес M-жазықтық алюминий субстратжетілдірілген оптоэлектрондық қосымшалардың талаптарын қанағаттандыру үшін мұқият әзірленген. Бұл субстратта полярлы емес M-жазықтық бағдары бар, ол жарық диодтары және лазерлік диодтар сияқты құрылғылардағы поляризация әсерлерін азайту үшін өте маңызды, бұл жақсартылған өнімділік пен тиімділікке әкеледі.
The10x10 мм полярлы емес M-жазықтық алюминий субстратақаулардың ең аз тығыздығы мен жоғары құрылымдық тұтастығын қамтамасыз ететін ерекше кристалдық сапамен жасалған. Бұл оны келесі ұрпақтың оптоэлектрондық құрылғыларын әзірлеу үшін маңызды болып табылатын жоғары сапалы III-нитридті пленкалардың эпитаксиалды өсуі үшін тамаша таңдау жасайды.
Semicera-ның дәл инженериясы әрқайсысын қамтамасыз етеді10x10 мм полярлы емес M-жазықтық алюминий субстратбіркелкі пленка тұндыру және құрылғыны жасау үшін маңызды болып табылатын дәйекті қалыңдық пен беттің тегістігін ұсынады. Бұған қоса, субстраттың ықшам өлшемі оны әртүрлі қолданбаларда икемді пайдалануға мүмкіндік беретін ғылыми-зерттеу және өндірістік орталарға қолайлы етеді. Өзінің тамаша термиялық және химиялық тұрақтылығымен бұл субстрат озық оптоэлектрондық технологияларды дамыту үшін сенімді негіз береді.
| Элементтер | Өндіріс | Зерттеу | Манеке |
| Кристалл параметрлері | |||
| Политип | 4H | ||
| Беттік бағдар қатесі | <11-20 >4±0,15° | ||
| Электрлік параметрлер | |||
| Допант | n-типті азот | ||
| Қарсылық | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механикалық параметрлер | |||
| Диаметрі | 150,0±0,2мм | ||
| Қалыңдығы | 350±25 мкм | ||
| Бастапқы жазық бағдарлау | [1-100]±5° | ||
| Негізгі жалпақ ұзындық | 47,5±1,5мм | ||
| Екінші пәтер | Жоқ | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм(5мм*5мм) | ≤5 мкм(5мм*5мм) | ≤10 мкм(5мм*5мм) |
| Садақ | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Бұрыш | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Алдыңғы (Si-бет) кедір-бұдырлығы (AFM) | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Құрылымы | |||
| Микроқұбырдың тығыздығы | <1 э/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металл қоспалары | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 е/см2 | ≤3000 е/см2 | NA |
| TSD | ≤500 е/см2 | ≤1000 е/см2 | NA |
| Алдыңғы сапа | |||
| Алдыңғы | Si | ||
| Беткі әрлеу | Si-face CMP | ||
| Бөлшектер | ≤60ea/вафли (өлшемі≥0,3мкм) | NA | |
| сызаттар | ≤5е/мм. Жиынтық ұзындық ≤Диаметр | Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA |
| Апельсин қабығы / шұңқырлар / дақтар / жолақтар / жарықтар / ластану | Жоқ | NA | |
| Шеткі чиптер/шегістер/сынулар/алты қырлы тақталар | Жоқ | ||
| Политипті аймақтар | Жоқ | Жиынтық ауданы≤20% | Жиынтық ауданы≤30% |
| Алдыңғы лазерлік таңбалау | Жоқ | ||
| Артқы сапа | |||
| Артқы мәре | C-бет CMP | ||
| сызаттар | ≤5ea/мм,Жиынтық ұзындық≤2*Диаметр | NA | |
| Артқы ақаулар (жиек чиптері/шегіністері) | Жоқ | ||
| Артқы кедір-бұдыр | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Артқы лазерлік таңбалау | 1 мм (жоғарғы шетінен) | ||
| Жиек | |||
| Жиек | Фака | ||
| Қаптама | |||
| Қаптама | Вакуумды орауышпен эпи-дайын Көп вафлилі кассеталық қаптама | ||
| *Ескертпелер: «NA» сұрау жоқ дегенді білдіреді Атылмаған элементтер SEMI-STD-ге сілтеме жасай алады. | |||
